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中科科儀場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000

適用于：電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料、高分子、動(dòng)植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業(yè)、建筑材料、化工材料、陶瓷材料

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來(lái)掃描樣品，通過(guò)光束與物質(zhì)間的相互作用，來(lái)激發(fā)各種物理信息，對(duì)這些信息收集、放大、再成像以達(dá)到對(duì)物質(zhì)微觀形貌表征的目的。新式的掃描電子顯微鏡的分辨率可以達(dá)到1nm；放大倍數(shù)可以達(dá)到30萬(wàn)倍及以上連續(xù)可調(diào)；并且景深大，視野大，成像立體效果好。此外，掃描電子顯微鏡和其他分析儀器相結(jié)合，可以做到觀察微觀形貌的同時(shí)進(jìn)行物質(zhì)微區(qū)成分分析。掃描電子顯微鏡在巖土、石墨、陶瓷及納米材料等的研究上有廣泛應(yīng)用。因此掃描電子顯微鏡在科學(xué)研究領(lǐng)域具有重大作用。

優(yōu)點(diǎn)

1）肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，亮度高、單色性好、電子束斑小、壽命長(zhǎng)

2）低加速電壓下能保持較好的亮度和較高的分辨率

3）束流穩(wěn)定度高、色散小，適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精準(zhǔn)分析，如CL、EDS、EBSD

4）低加速電壓，可直接觀測(cè)電子束敏感樣品，不需噴金

5）操作簡(jiǎn)便，僅用鼠標(biāo)即可完成所有的電鏡操作

特點(diǎn)

高性能肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍，亮度高、單色性好、束斑小，壽命更長(zhǎng)

低加速電壓下，保持較好的亮度、分辨率

低加速電壓不導(dǎo)電樣品可以直接觀測(cè)，無(wú)需噴金

束流穩(wěn)定度高，滿足長(zhǎng)時(shí)間工作需求

滿足用戶定制化需求，適合多模塊嵌入，多系統(tǒng)互聯(lián)

易操作，易維護(hù)，性價(jià)比高，性能遠(yuǎn)高于普通鎢燈絲類電鏡

中科科儀場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000技術(shù)規(guī)格

中科科儀場(chǎng)發(fā)射槍掃描電鏡KYKY-EM8000參數(shù)

分辨率： 1.5nm@15KV（SE）； 3nm@30KV（BSE）

放大倍率： 8-1600000倍

電子槍： 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

加速電壓： 0.02-30kV

樣品臺(tái)： 手動(dòng)樣品臺(tái)（標(biāo)配）、五軸全自動(dòng)預(yù)對(duì)中樣品臺(tái)（選配）

探測(cè)器： 高真空二次電子探測(cè)器（具備防碰撞功能）

透鏡系統(tǒng)： 多級(jí)高性能錐形透鏡系統(tǒng)

尺寸

電子光學(xué)鏡筒部分： 800×800×1480(mm)

電器柜控制部分： 1340×850×740(mm)

優(yōu)勢(shì)

1. Schottky肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小，壽命長(zhǎng)

2. 低加速電壓下能保持較好的亮度和較高的分辨率

3. 束流穩(wěn)定度高、色散小，適宜于長(zhǎng)時(shí)間的各種精確分析，如BSE、EDS、EBSD

4. 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可以直接觀測(cè)，無(wú)需噴金

5. 多種自動(dòng)功能，操作十分簡(jiǎn)便，僅用鼠標(biāo)即可完成所有的電鏡操作

應(yīng)用領(lǐng)域

電池材料、半導(dǎo)體、復(fù)合材料、高分子、動(dòng)植物、微生物、粉末冶金、礦物、金屬行業(yè)、建筑材料、化工材料、陶瓷材料。

掃描電子顯微鏡（scanning electron microscope，SEM）是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高，成像直觀、立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍寬以及待測(cè)樣品可在三維空間內(nèi)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點(diǎn)。另外具有可測(cè)樣品種類豐富，幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時(shí)獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學(xué)信息等優(yōu)點(diǎn)。

目前，掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究，僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。